吴苡婷-上海交通大学机械与动力工程学院

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教学科研型

吴苡婷

助理教授

所在系所：微纳工程科学研究中心

电子邮件：wuyitinggt@sjtu.edu.cn

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个人简介

科研工作

教育背景

2014 - 2019，德国埃尔朗根-纽伦堡大学 (FAU) ，博士

吴苡婷博士，上海交通大学长聘教轨助理教授、博士生导师。曾留德十年，在德国埃尔朗根-纽伦堡大学（FAU）加工测量技术研究所（Institute of Manufacturing Metrology）长期从事微纳测量技术的研究。研究方向主要集中在超精密测量设备的自主开发以及测量方法学的研究，其中涉及光学测量方法（如白光干涉、激光干涉等）、接触式测量方法（如3D 微触觉测量技术）、原子力显微测量技术、扫描隧道显微测量技术。此外，长期从事纳米/皮米定位系统(空间定位分辨率小于0.1 nm)的系统精度、稳定性、测量不确定度以及系统兼容性等方面的开发工作。

招收博士研究生、博士后研究员以及工程师，欢迎感兴趣的人才与我联系！课题组与众多海内外高校都有良好的合作关系，可推荐去交流访问。

工作经历

2022 至今, 上海交通大学, 机械与动力工程学院, 助理教授（博导）
2018 - 2021, 德国埃尔朗根-纽伦堡大学 (FAU), Institute of Manufacturing Metrology （FMT）, 研究员

研究方向

微纳尺度精密仪器开发以及测量方法学的研究：

1. 扫描探针显微法 (Scanning Probe Microscopy: SPM)，高通量原子力显微（Atomic Force Microscopy: AFM）测量系统开发，可直接溯源3D AFM开发
2. 皮米定位系统
3. 光学精密测量（白光干涉显微法，激光干涉法等）
4. 接触式测量（Micro tactile等）

科研项目

张江国家实验室科技攻关专项，“近场光学天线高精度测控技术”，课题负责人
先导技术专项，“原子力显微测量技术（晶圆级可直接溯源原子力显微测量系统）”，项目负责人
德国国家科学基金会（German Research Foundation), 德国国家级项目：特殊研究专项, SFB 814（C4）, "Additive Manufacturing - Incremental in-line testing technology for the additive manufacturing", 课题负责人
欧洲创新与研究计量计划（EMPIR：European Metrology Program for Innovation and Research）, 欧盟项目, 15SIB09, "Traceable three-dimensional nanometrology (3DNano)", 课题负责人
德国国家科学基金会（German Research Foundation), 德国国家级项目：特殊研究专项, HA 5915/4, "Three-dimensional electrical probing for micro- and nano coordinate metrology - 3-D tunnel current probe", 参与

代表性论文专著

1. Bixuan Huang，Yiting Wu*，Junjie Wu, Lingkun Luo，" Transformer-Based Hybrid Metrology for Topography Reconstructing and Geometrical Parameter Measurement using SEM Image", Chip.(共同一作，通讯作者)

2. Bixuan Huang, Xianmin Jin, Yangwen Li, Yiting Wu*，“Enhanced Geometrical Parameters Prediction in Nanometrology: A Hybrid Metrology Approach Using AFM and SEM with Artificial Neural Network”，Front. Mech. Eng.(通讯作者)

3. T. Tan, M. Sivan, K. Zhou, H. Guo, Y. Wu, L. Sun, Y. Li*, X. Feng*, "Self-Rectifying MoS2 Memtransistor via Asymmetry Contact Metal Engineering for Neuromorphic Computing ," Small, 2503716 (2025).

4. Xianmao Cao , Yida Li , Ke Li , Yiting Wu , Panpan Zhang，Asymmetric electrostatic control in monolithic two-dimensional materials based CFETs: a characteristic length model for short-channel effect mitigation，2D Materials, 2025-07-10.

5. Y. Wu: Großflächige Topographiemessungen mit einem Weißlichtinterferenzmikroskop und einem metrologischen Rasterkraftmikroskop (engl. Large-area topography measurements with a white light interferometric microscope and a metrological atomic force microscope), 2022. （专著）

6. Y. Wu, E. Wirthmann, U. Klöpzig, T. Hausotte: Investigation of a metrological atomic force microscope system with a combined cantilever position, bending and torsion detection system. In: Journal of Sensors and Sensor Systems (2021), p. 171−177.（第一作者，通讯作者）

7. Y. Wu, E. Wirthmann, U. Klöpzig, T. Hausotte: A metrological atomic force microscope for large range measurements with sub-nanometre resolution. In: Sensor and Measurement Science International 2021, p. 61−62.

8. Y. Wu, E. Wirthmann, U. Klöpzig, T. Hausotte: Development of a metrological atomic force microscope system with improved signal quality. In: Engineering Proceedings (2021), Volume 6, Issue 1. (第一作者，通讯作者)

9. Y. Wu, E. Wirthmann, U. Klöpzig, T. Hausotte: A metrological atomic force microscope system. In: Nano Express (2021), Volume 2, 010035. (第一作者，通讯作者)

10. Y. Wu, E. Wirthmann, U. Klöpzig, T. Hausotte: Investigation of a metrological atomic force microscope system with a combined cantilever position, bending and torsion detection system. In: Sensr and Measurement Science International 2020

11. Y. Wu, Z. Sun, T. Hausotte: Precise measurement of large scale surfaces with micro-topographies without overlapping fields of view by white light interferometry. In: Laser Metrology and Machine Performance XII (2017), p. 144–153. (第一作者，通讯作者)