
王成
助理教授所在系所:微纳工程科学研究中心
电子邮件:cheng-wang@sjtu.edu.cn
通讯地址:上海市闵行区东川路800号
教育背景
2016/09-2021/07,清华大学,化学系,博士,高电子自旋密度碳纳米结构电学性能研究
2020/01-2020/03,哈佛大学,化学与化学生物学系,交流访学,二维拓扑材料异质结及电学器件研究
2016/01-2016/06,美国弗吉尼亚理工大学,材料科学与工程学院,本科毕业设计
2012/09-2016/07,天津大学,材料科学与工程学院,学士,改性复合材料力学增强机制
2009/09-2012/06,湖南师大附中,理科实验班(奥林匹克竞赛)
王成,上海交通大学长聘教轨助理教授、博士生导师,微纳工程科学全国重点实验室对外合作处·副总师,上海交通大学机械与动力工程学院微纳前沿科技联合实验室·主任;前华为海思技术有限公司3DIC芯片主任工程师、高校技术合作项目经理。
课题组致力于突破下一代三维异构集成芯片的核心技术瓶颈,构建从材料本源到系统集成的全链条创新体系。团队在高密互连领域,通过电化学原子层沉积技术重塑金属互连工艺极限和新型互连金属开拓(Cu、Co、Ru、Mo),确保纳米级互连的工艺致密性与电学可靠性;在芯片多层堆叠方向,深耕混合键合技术,为HBM存储器的纵向扩展与高性能集成提供坚实支撑;同时,团队以前瞻视角深入三维芯片的热-电协同管理,一方面从分子设计合成层面优化界面热输运机制,解决高密度堆叠下的散热难题,另一方面基于高κ超晶格电容实现高效储能与去耦,革新电源完整性管理。通过打通三维集成芯片互连、堆叠、散热及供电四大关键技术节点,旨在突破三维异构集成技术向更高密度、更高性能与更高能效迈进,赋能未来算力基础设施发展。主持国家自然科学基金委员会青年科学基金项目、上海市科委课题、联合实验室校企产学研项目、参与国家重点基础研究计划课题、国家自然科学基金面上项目等,同时担任期刊青年编委和审稿人。
团队长年招收博士、硕士研究生,欢迎本科生PRP、大创和毕业设计项目,同时提供科研助理、博士后等岗位,特别优秀的可直接担任特聘助理研究员,欢迎感兴趣的同学邮件与我联系,期待和你一杯咖啡碰撞思想创新的火花!
工作经历
2025/10-至今,上海交通大学,微纳工程科学全国重点实验室对外合作处,副总师
2025/02-至今,上海交通大学,机械与动力工程学院,长聘教轨助理教授、博士生导师
2021/07-2025/01,华为技术有限公司,芯片三维异构集成(3DIC)主任工程师
研究方向
面向下一代芯片三维异构集成关键技术演进探索(3DIC)
Research on Technology Evolution for Next-Generation 3D Heterogeneous Chip Integration (3DIC)
(1)先进单点新工艺:电化学原子层沉积(E-ALD)技术、新型金属填充技术(Ru, Co, Mo...);
(2)层间超高密互连:低温混合键合(D2W, W2W)技术助力原子级表界面融合、低应力TSV/TGV、高深宽比Nano TSV;
(3)系统级芯片管理:系统级热管理(高导热Underfill, TIM)、全集成系统级电源稳压调控(IVR-DTC, MIM)、背面电力传输网络(BSPDN)等关键技术,
助力下一代芯片高带宽存储器(HBM)路线演进。
学术兼职
2026/01-至今,电子封装技术国际会议(ICEPT)专题(AI赋能的先进封装)委员会委员
2026/01-至今,Micro 杂志青年编委(Early Career Editorial Board Members)
2016/09-至今,英国皇家化学学会会员(Royal Society of Chemistry, RSC)
2025/12,2025 International Conference on Intelligent Technology and Advanced Manufacturing (ITAM 2025) 专题主席
2013/11-2014/11,天津大学学生校长助理
(1)《AI 赋能的芯片三维集成》2026秋季学期,ME8210,研究生课程,3学分
(2)《工程学导论》2026秋季学期,ME1221,本科生课程,3学分
(3)上海交通大学机械与动力工程学院,2026级本科生班主任
(4)上海交通大学第49期本科生PRP项目,指导教师
(5)上海交通大学第33期大学生创新实践项目,指导教师
(6)上海交通大学2026届本科生毕业设计项目,指导教师
科研项目
(1)2027-2029 国家自然科学基金委员会,青年科学基金项目,主持
(2)2026-2028 三维异构集成芯片低温混合键合产学研科技项目,主持
(3)2025-2028 三维异构集成芯片热管理产学研科技项目:微纳前沿科技联合实验室,主任
(4)2025-2027 上海市科学技术委员会“前沿与技术交叉技术领域”项目,交大方负责人
(5)2025-2027 新型电化学互连原子级沉积产学研科技项目,主持
(6)2025-2028 上海交通大学双一流专项新进启动科研项目,主持
(7)2026- 中国国际经济技术合作促进会:《晶圆级高密度多层堆叠封装技术规范》(T/CIET 2313-2026)团体标准起草工作,主要参与人
(8)2022-2025 国家自然科学基金委员会,面上项目,22171158,第VA族二维纳米结构的可控制备及其力学性质研究,参与
欢迎感兴趣的学界、产业界同仁邮件联系,共同推动集成电路产学研项目芯片开发与技术落地!
代表性论文专著
[1] Huaqiang Cao*, Cheng Wang, Baojun Li, Tianyu Chen, Peng Han, Yan Zhang, Haijun Yang, Qunyang Li, Anthony K. Cheetham. Successive free-radical C(sp2)-C(sp2) coupling reactions to form graphene. CCS Chemistry. 2022, 4(2), 584-597.
与清华大学曹化强教授共同提出全新芳香环碳-碳(sp2-sp2)偶联反应机理——新型人名反应认证,被国家自然科学基金委基金要闻报道,且收录于两部国际著名有机人名反应专著:
(1)2024年11月21日Springer出版社出版的《有机人名反应:机理及应用》(Namensreaktionen: Eine Sammlung von detalillierten Mechanismen und Anwenungen in der Synthese)
(2)2025年2月14日Elsevier出版社出版的《基于人名反应的有机合成:八百多种转化反应的实用百科全书式指南》(Organic Syntheses Based on Name Reactions: A Practical Encyclopedic Guide to Over 800 Transformations)
[2] Cheng Wang, Shuai Wu, Xiao Yang, Zihe Yan, Guoxin Xie, Sichun Zhang, Jiadao Wang, Huaqiang Cao*. Thickness-dependent Young's Modulus of polycrystalline α-PbO nanosheets. Nanotechnology. 2020, 31(39), 395712.
[3] Cheng Wang, Zirui Qiao, Yulan Tian, Haijun Yang, Huaqiang Cao*, Anthony K. Cheetham*. Alcohol imination catalyzed by carbon nanostructures synthesized by C(sp2)-C(sp3) free radical coupling. iScience. 2023, 26(5), 106659.
[4] Cheng Wang*, Guorong Weng, Jiapeng Han, Kaisen Liu, Leilai Shao, Yulan Tian, Wei Fu, Dongsheng Huang, Lei Feng, Yuxiang Zhou, Chaoyue Liu, Weilong Deng, Zhenpeng Xu, Zhihan Hong, Zirui Qiao*, Huaqiang Cao & Anthony K. Cheetham*. Hydrogen-assisted aromatization to spin-active amorphous monolayer carbon. 2026, Under Review.
[5] Cheng Wang*, Shuo Hao, Jiapeng Han, Leilai Shao, Yulan Tian, Wei Fu, Zirui Qiao*, Huaqiang Cao, Zhenpeng Xu*, Zhihan Hong*. In-situ ion exchange mediated nucleation to chemical tethering LiFePO4 nanowires for olivine cathodes robust cycling stability and improved rate kinetics. 2026, Under Review.
[6] Cheng Wang, Jiapeng Han, Shuo Hao, Yuxiang Zhou, Leilai Shao, Yulan Tian, Zirui Qiao, Wei Fu, Huaqiang Cao, Zhenpeng Xu*, Zhihan Hong*. Equimolar doping in LiFe0.5Mn0.5PO4/rGO nanosheets: unlocking synergistic electrochemical kinetics through composition-driven morphology. 2026, Under Review.
[7] Zhenpeng Xu*, Yiliyaer Tuerxunmaimaiti, Zhian Ye, Zhihan Hong*, Cheng Wang*. Vat photopolymerization of multifunctional short carbon fiber reinforced polymers. 2026, Under Review.
[8] Chaoyue Liu, Dongsheng Huang, Yaxuan Sun, Lei Feng, Yuxiang Zhou, Kaisen Liu, Weilong Deng, Yilin Lu, Qianfen Li, Xiaoyu Qian, Leilai Shao, Zhihan Hong, Zhenpeng Xu, Cheng Wang*. Advances in AI-enabled 3D integrated chip hybrid bonding technology. Electronics and pakaging. 2026. Accepted.
[9] Guangxi Fan, Tianliang Ma, Xuguang Sun, Xun Wang, Cheng Wang, Zhiping Yu, Xiaolei Zhu, Leilai Shao. GraphDTA: fast dynamic timing analysis for circuits with graph representation learning. International Symposium of EDA. 2026.
[10] Jiacheng Shen, Yuanyuan Duan, Guangxi Fan, Lyu Lyu, Cheng Wang, Xiaolei Zhu, Leilai Shao. GNN-accelerated magnitude vector fitting method for rapid pole identification and transient simulation of 2.5D power delivery networks. International Symposium of EDA. 2026.
[11] Wei Fu, Jiefu Yin, Huaqiang Cao*, Zhongfu Zhou, Junying Zhang, Jingjing Fu, Jamie H. Warner, Cheng Wang, Xiaofang Jia, G. Neville Greaves, Anthony K. Cheetham*. Non-blinking luminescence from charged single graphene quantum dots. Advanced Materials. 2023, 35(40): 2304074.
软件版权登记及专利
[30] 王成,冯磊,洪之涵,徐振澎,邵雷来,一种高深径比通孔的金属填充方法,发明专利,202611459878.0 [2026-09-20]
[29] 王成,朱继锋,电容器及其制作方法、芯片、电路板组件及电子设备,发明专利,CN122719097A [2026-09-08]
[28] 王成,孙雅轩,陈华轩,一种基于塑晶固-固相变微胶囊的底部填充材料及其制备方法,发明专利,CN122878714A [2026-07-09]
[27] 王成,黄东升,邵雷来,陈华轩,基于 ICP 等离子体处理的光敏聚合物有机介质层制造方法,发明专利,CN122892464A [2026-07-07]
[26] 王成,黄东升,邵雷来,一种异质金属基铜二元合金修饰层的形成方法及半导体互连结构,发明专利,CN122995674A [2026-07-07]
[25] 王成,卢羿霖,陈华轩,一种半导体互连结构及其形成方法,发明专利,202610890204X [2026-06-18]
[24] 王成,陆铮,唐朋万,郑骜澜,王立,一种卡圈弯折工装,实用新型,202621068383.0 [2026-07-15]
[23] 王成,谢王晖,殷剑雍,洗边装置及其工作方法,发明专利,CN120854315A [2025-10-28]
[22] Cheng Wang,Jifeng Zhu,Yechang Wang,Jinwen Dong,SEMICONDUCTOR STRUCTURE AND PREPARATION METHOD THEREFOR, AND FUNCTIONAL CHIP ANDELECTRONIC DEVICE,US20260123394A1 [美国专利,2026-04-30]
[21] Cheng Wang,Xiaoyang Bai,Jinwen Dong, CHIP PACKAGING STRUCTURE, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, AND ELECTRONIC DEVICE,EP4576203A1 [欧洲专利,2025-06-25]
[20] Cheng Wang,Jifeng Zhu,Yechang Wang,Jinwen Dong,SEMICONDUCTOR STRUCTURE AND PREPARATION METHOD THEREFOR, AND FUNCTIONAL CHIP ANDELECTRONIC DEVICE,EP4723165A1 [欧洲专利,2026-04-08]
[19] Cheng Wang,Jifeng Zhu,Yechang Wang,Jinwen Dong,SEMICONDUCTOR STRUCTURE AND PREPARATION METHOD THEREFOR, AND FUNCTIONAL CHIP ANDELECTRONIC DEVICE,WO2025002065A1 [国际专利,2025-01-02]
[18] Cheng Wang,Xiaoyang Bai,Jinwen Dong,Jiawei Chen,INTEGRATED CIRCUIT AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR, THREE-DIMENSIONAL INTEGRATED CIRCUIT AND ELECTRONIC DEVICE,WO2024093281A1 [国际专利,2024-05-10]
[17] Cheng Wang,Xiaoyang Bai,Jinwen Dong, CHIP PACKAGING STRUCTURE, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, AND ELECTRONIC DEVICE,WO2024055696A1 [国际专利,2024-03-21]
[16] 王成,朱继锋,刘镒,王叶畅,董金文,硅通孔结构、硅通孔背面漏孔的制作方法、电路板和电子设备,发明专利,CN119230500A [2024-12-31]
[15] 王成,朱继锋,王叶畅,董金文,半导体结构及其制备方法、功能芯片和电子设备,发明专利,CN119208250A [2024-12-27]
[14] 王成,白晓阳,董金文,陈嘉伟,集成电路及其制备方法、三维集成电路、电子设备,发明专利,CN117995797A [2024-05-07]
[13] 王成,白晓阳,董金文,芯片封装结构及其制作方法、电子设备,发明专利,CN117747573A [2024-03-22]
[12] 王成,陈嘉伟,白晓阳,朱继锋,一种用于化学机械抛光 CMP 的保持环,发明专利,92029554CN01
[11] 王成,朱继锋,一种新型电化学镀铜洗边管路装置,发明专利,92074967CN01
[10] 王成,白晓阳,赵岩翀,一种铜表界面离子束处理促进混合键合过程中铜-铜互熔的优化方法,商业秘密,92045303
[9] 袁青林,王成,陈华轩,一种聚酰亚胺基激光诱导石墨烯导热绝缘复合材料的制备方法,发明专利,202611515290.2 [2026-09-28]
[8] Tianyu Wang,Cheng Wang,Jinwen Dong,Jifeng Zhu,CHIP AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR, AND ELECTRONIC EQUIPMENT,WO2026179520A1 [国际专利,2026-09-03]
[7] 王天玉,王成,董金文,朱继锋,芯片及其制备方法、以及电子设备,发明专利,CN122662216A [2026-08-28]
[6] Tianyu Wang,Cheng Wang,Jifeng Zhu,SEMICONDUCTOR DEVICE, CHIP, ELECTRONIC DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD,WO2025066352A1 [国际专利,2025-04-03]
[5] 王天玉,王成,朱继锋,半导体器件、芯片、电子设备及半导体器件的制备方法,发明专利,CN119725307A [2025-03-28]
[4] Tianyu Wang,Cheng Wang,Jifeng Zhu,SEMICONDUCTOR DEVICE, CHIP, ELECTRONIC DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD,EP4779690A1 [欧洲专利,2026-07-22]
[3] 曹化强,王成,一种石墨烯的合成方法,发明专利,CN110422839B [2021-03-16]
[2] 陈嘉伟,白晓阳,王成,控压气囊模组、抛光头和抛光设备,发明专利,92032073CN01
[1] 谢王晖,巩泽浩,殷剑雍,王成,朱继锋,付洋,林城策,一种改善MIM致密度Rs的方法,发明专利,92073669CN01

















2026/05,2026年中国大学生机械工程创新创意大赛第九届“精雕杯”毕业设计赛(区域赛)二等奖·指导教师
2025/12,2025 International Conference on Intelligent Technology and Advanced Manufacturing Oral Presentation "Research on Technology Evolution for Next-Generation 3D Heterogeneous Integration"
2025/01,华为技术有限公司研发部“2024年度十大高潜专利”
2024/01,华为技术有限公司研发部“2023年度五大高潜专利”
2023/08,华为技术有限公司研发部长奖
2023/01,华为技术有限公司研发部“2022年度十大优秀论文”
2022/12,华为技术有限公司质量之星
2021/05,清华大学博士生学术论坛-会议墙报一等奖
2018/10,清华大学优秀学生干部
2016/06,天津大学优秀毕业生
2015/07,天津市高分子化学与物理竞赛一等奖
2014/12,天津市优秀学生干部